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      名称:薄膜透率测试装置

    该装置采用定容法及质谱分析法用于对薄膜透气率的测试,可以测量不同类型薄膜在不同压差下的透气率及气体的成分分析。

        用户可根据需要在薄膜的一侧表面输入特定气体至所需压力,在压差作用下测量薄膜的透气率。也可输入不同成分的气体对薄膜的性能分析及特定气体的定量分析。

    技术参数:

     

    CSMT-150

    极限真空            Pa

    1.5×10-6

    输入******压力       bar

    2abs

    测试薄膜直径 mm

    φ150(可定制)

    测量分析元件

    高性能四极质谱计

    质量数范围amu

    1~200

    最小检测分压力 Pa

    4×10-13EM

    抽气系统

    分子泵抽气机组

    真空测量

    电离计

    加热装置

    测试室加热温度范围℃

    室温~180摄氏度

    温度测量传感器

    PT100

    供电电源

    380V50Hz

    功率               kW

    10



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