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      名称:真空漏孔校准装置

    用于校准真空标准漏孔,可以多个测试单元组合。采用恒温环境对计量漏孔进行恒温,标准流量计进行比对校准。标准流量计可以采用经计量校准的真空漏孔,也可以采用定制的固定流量计。

     

    技术特点:

    l  模块化结构设计

    l  计量标准器由国家计量院或国防一级站进行计量

    l  恒温箱结构保证溯源漏孔温度恒定

    l  进口抽气系统

    l  进口阀门控制

    l  特殊材料处理保证系统真空

    l  稳定可靠

    l  特殊需求可以单独定制

     

    技术参数:

     

    JZL1

    JZL2

    校准范围        Pam3/s

    5×10-6 - 5×10-9

    5×10-6 - 5×10-10

    极限真空       Pa

    5×10-6

    校准室直径        mm

    Sφ350

    恒温室

                        

    参考标准器

    真空漏孔

    固定流量计

    校准器

    高性能氦质谱检漏仪

    高性能四极质谱计

    校准器测量下限

    5×10-12mbarL/s

    6.6×10-15mbar(分压力)

    主抽泵

    分子泵

    真空测量

    电离计

    校准室接口

    5×DN 25 ISOKF

    4VCR

    校准室加热装置

    校准室加热温度范围℃

    室温~150

    温度测量传感器

    PT100

    不确定度

    30%

    10%

     

    选配附件:

    转接口

    转接口

    参照“真空转接件”选配

    恒温室

    被动恒温室

    工作温变速率≤1/15min

    特殊需求可定制

    主动恒温室

    定制


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