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      名称:正压漏孔校准装置

    装置采用组合式结构设计,系统材料经过特殊处理,减少对装置测试结果影响。系统主要元件采用进口配置搭配,测试性能稳定,可以进行精确的正压漏孔校准。


    技术参数:

     

    ZJL3

    校准范围        Pam3/s

    5×10-3 - 1×10-8

    极限真空           Pa

    5×10-7

    校准室接口

    定制

    校准器

    高性能四级质谱计

    校准器测量下限

    6.6×10-15mbar(分压力)

    校准器灵敏度      FC

                      EM

    1.5×10-4A/mbar

    380 A/mbar

    主抽泵

    分子泵

    真空测量

    电离计

    校准室加热装置

    校准室加热温度范围℃

    室温~150

    温度测量传感器

    PT100

    装置不确定度

    10%

     

    选配附件:

    恒温室:

    被动恒温室

    工作温变速率≤1/15min,特殊需求可定制

    主动恒温室

    定制


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