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      名称:密封性能测试装置

    真空密封盒体整体漏率测量装置,可用于极小漏率密封盒体的整体漏率检测。具有内部充氦管路,可以保证密封盒体内的氦压稳定;专用密封盒送样机构,实现密封盒的进出送样;全金属密封结构,实现极小漏率的测量。

    主抽泵采用德国莱宝的分子泵确保真空室的真空性能,进口的四极质谱计及经计量的漏率校准器具可进行测试比对。


    技术参数:

     

    CSMF-400

    漏率测量范围 Pam3/s

    5×10-8 - 5×10-12

    极限真空            Pa

    5×10-7

    测试室直径         mm

    φ400

    进样接口直径       mm

    φ250

    测量分析元件

    高性能四极质谱计

    质量数范围amu

    1~200

    灵敏度          A/mbar

    3.8×10-4FC

    最小检测分压力 Pa

    4×10-13EM

    主抽泵

    分子泵、吸气泵

    主抽阀

    插板阀

    真空测量

    电离计、薄膜计

    加热装置

    测试室加热温度范围℃

    室温~180

    温度测量传感器

    PT100


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