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      名称:极小气体分压力校准装置

    本装置由双球校准室、取样系统、静态配气系统、四极质谱计、吸气剂泵、分子泵系统等组成,可对气体分压力(质谱计)进行测试校准。


    技术特点:

    l  极限真空好

    l  高精度的配气系统

    l  高性能的静态膨胀室

    l  高性能的抽气系统

     

    技术参数:

     

    JZZ2

    校准范围      amu

    1~300

    极限真空       Pa

    2×10-9(校准室)

    5×10-8(静态膨胀室)

    校准室直径 mm

    Sφ350

    静态膨胀室容积 L

    100

    主抽泵

    分子泵、吸气剂泵

    真空测量

    分离规

    校准室加热装置

    校准室加热温度范围℃

    室温~300

    温度测量传感器

    PT100

     

    选配附件:

    配气系统:

    高精度标准样气配气装置

    定制


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