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      名称:极小气体流量校准装置

    采用累计法进行比对校准。利用固定流导流量计获得稳定流量,通过与被校气体流量分压力比对进行校准。

    采用进口真空系统及真空处理获得洁净本底,利用高精度的压力测量及环境温度控制获得稳定校准流量,降低极小气体流量分压力校准的不确定度。


    技术参数:

     

    JZL4

    漏率校准范围 Pam3/s

    10-9 - 10-12

    极限真空            Pa

    1×10-8

    校准器

    高性能四极质谱计

    校准器测量下限

    6.6×10-15mbar(分压力)

    校准器灵敏度FC

                EM

    1.5×10-4amps/mbar

    380 amps/mbar

    主抽泵

    分子泵、吸气泵

    真空测量

    电离迅猛兔登录

    校准室加热装置

    校准室加热温度范围℃

    室温~250

    温度测量传感器

    PT100

    恒温箱

    进样接口

    4VCR

     

    选配附件:

    转接口

    转接口

    参照“真空转接件”选配

    恒温室:

    被动恒温室

    工作温变速率≤1/15min

    特殊需求可定制

    主动恒温室

    定制


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